QUANTA 250FEG

Apollo X

Au sputter

- SEM 에 EDX를 부착하여 시료 표면과 전자빔에 의해 방출되는 X-ray를 검출하여 미세 구조의 화학성분을 정성 · 정량 분석 ( 붕소 ~ 우라늄 가능)

  예) 불용성 유황 표면, 미생물 표면, 제올라이트 표면 및 연료전지용 촉매의 표면, 황검출, 금속산화물 촉매 성분, 제올라이트 조성, 자동차용 고분자소재 원소 분석