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Micro ED-XRF (Oribis)
- Vacuum & Air 양쪽 모두 지원 가능하여 어떠한 형태의 시료의 금속 원소 분석이 가능, 파장분산형 대비 사용 편리함
예) 고체시료, 분말시료, 액체시료, 완제품 시료
- 최대전압 : 10~50㎸(1.0㎸ step)
0.01~1.0㎃(0.5㎂ step)
- X-Ray Tube : Rh micro-focus anode
- Window : Be window