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Field Emission Gun-Scanning Electron Microscope
2017-05-31 14:12:39

 

QUANTA 250FEG


- 일반 SEM보다 분해능이 뛰어나 고배율의 image 관찰 가능, 전자빔에 damage 입기 쉬운 시료에 대해 낮은 가속전압에서 고배율 관찰용이

  예) 시료의 표면, 단면, 미세 부위 분석

- 최대전압 : 30㎸ (Field emission gun)

- 확대범위 : ×40 ~ ×10⁶

- Silicon Drift Detector (SDD type : LN₂ 불필요)